電気・電子

半導体およびマイクロチップのリンス向け超純水。最大の比抵抗と最小の微量イオンを実現。

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電子産業はスマートフォンから心臓モニターまであらゆる製品を生み出しており、これらすべてのシステムが高品質のマイクロチップに依存しています。製造工程では水がウエハーおよびチップのリンスに使用され、残留したイオン性物質はデバイスの電気的特性を変化させます。

水は本来、電流を流す溶解塩類を含んでいるため、ウエハーに触れる前に最高純度まで精製(ポリッシング)する必要があります。XRESINの超純水グレードはリンス水を最大の比抵抗まで仕上げ、ナトリウム、カルシウム、ホウ素、シリカなどの汚染物質を除去することで、歩留まりの低下を防ぎます。

これらのシステムは通常、強酸性カチオン、強塩基性アニオンおよび混床(ミックスベッド)ポリッシング段を組み合わせて構成されます。全有機炭素(TOC)の低さと溶出物の少なさは不可欠であり、微量の有機物放出であっても先端ノードに影響を及ぼす可能性があります。

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