XR-UPW-501
B 등급 · 전용 시리즈
Proprietary Application Media
UPW-Ultra™ 최종 폴리싱 혼베드
웨이퍼급 최종 폴리싱 혼베드로, 용출물이 극히 낮습니다.
반도체와 태양광 초순수 시스템을 위한 최종 연마 혼상침대 매체입니다. 등립자 겔형 양·음이온 수지를 최적 비율로 혼합하여, 수지 자체 용출물과 린스다운 시간의 제어를 중점적으로 수행하며, UPW 시스템 말단의 미량 이온과 TOC 제어에 사용합니다.
| 그레이드 | XR-UPW-501 UPW-Ultra™ Final Polishing Mixed Bed |
|---|---|
| 이온형 | H⁺/OH⁻ 혼합 (폴리싱 혼베드) |
| 매트릭스 | 스틸렌-디비닐벤젠 (DVB) |
| 구조 | 균입자 젤 |
| 적용 운전 조건 | 웨이퍼급 최종 연마 / 초순수 정밀처리 · UPW 시스템 말단 미량 이온 제어 · 린스다운 시간에 민감한 신규 장착/교체 현장 |
| 적용 불가 (사전 평가 필요) | 고 TOC 원수 직입(전처리와 UV/UF 병용 필요) · 초순수 절차에 따른 전처리를 하지 않은 최초 가동 |
| 입경 · 포장 · 유통 기한 | 배치 CoA와 TDS를 기준으로 하며, 요청 시 제공합니다. |
| 자료 | TDS / MSDS는 페이지 상단에서 다운로드하실 수 있으며, CoA 샘플과 제3자 검증 보고서는 요청 시 제공 가능합니다 |
이 페이지의 파라미터는 일반적인 시험 조건에서의 대표적인 설명이며 성능 보장이 아닙니다. 구체적인 수치는 해당 그레이드의 배치 CoA와 TDS를 따릅니다. 운전 조건의 경계가 불명확한 경우에는 우선 운전 조건 평가。