Смешанный слой финишной полировки UPW-Ultra™
Смешанный слой финишной полировки уровня пластин со сверхнизким выделением примесей.
Среда финишной полировочной очистки (смешанный слой) для систем сверхчистой воды полупроводниковой и фотовольтаической промышленности. Равномерно-гранулированные гелевые катионные и анионные смолы смешиваются в оптимизированном соотношении; ключевой контроль — за собственными выщелатами смолы и временем промывки до заданного качества (rinse-down) — для управления следовыми ионами и TOC на выходе системы UPW.
| Марка | XR-UPW-501 UPW-Ultra™ Final Polishing Mixed Bed |
|---|---|
| Ионная форма | Смешанный H⁺/OH⁻ (полировочный смешанный слой) |
| Матрица | Стирол-дивинилбензол (DVB) |
| Структура | Гель с однородным размером частиц |
| Применимые рабочие условия | Финишная полировка кремниевого уровня / глубокая очистка сверхчистой воды · контроль следовых ионов на выходе системы UPW · новые установки и случаи замены засыпки, чувствительные ко времени промывки (rinse-down) |
| Не рекомендуется (требуется предварительная оценка) | Прямая подача исходной воды с высоким содержанием TOC (требуется предварительная обработка с УФ/ультрафильтрацией) · первоначальный пуск без предварительной обработки по регламенту сверхчистой воды |
| Размер частиц · Упаковка · Срок хранения | Определяется партийным CoA и TDS; предоставляется по запросу |
| Документы | Скачайте TDS / MSDS в начале страницы; образцы CoA и отчёты независимой проверки предоставляются по запросу |
Параметры на этой странице являются типовыми описаниями при стандартных условиях испытаний и не являются гарантией рабочих характеристик; конкретные значения определяются партийным CoA и TDS соответствующей марки. Если границы рабочих условий неясны, рекомендуем начать с оценки рабочих условий。