XR-UPW-501 B 级 · 专有系列 Proprietary Application Media

UPW-Ultra™ 终端抛光混床

晶圆级终端抛光混床,溶出物极低。

面向半导体与光伏超纯水系统的终端抛光混床介质。以均粒凝胶型阴阳树脂按优化比例混合,重点控制树脂自身溶出物与 rinse-down 时间,用于 UPW 系统末端的痕量离子与 TOC 控制。

牌号规格 / Specification
牌号XR-UPW-501 UPW-Ultra™ Final Polishing Mixed Bed
离子型H⁺/OH⁻ 混合(抛光混床)
基体苯乙烯-二乙烯苯
结构均粒凝胶
适用工况晶圆级终端抛光 / 超纯水精处理 · UPW 系统末端痕量离子控制 · 对 rinse-down 时间敏感的新装/换装场合
不适用(需先评估)高 TOC 原水直进(需前处理与 UV/UF 配合) · 未按超纯水规程预处理的初次投运
粒径 · 包装 · 保质期0.3 - 1.2 mm · 包装与保质期按牌号 TDS
总交换容量阳树脂 1.9 eq/L / 阴树脂 1.1 eq/L
TOC 贡献< 1 ppb(典型)
含水率45 - 58 %
粒径0.3 - 1.2 mm,均粒
适用 pH0 - 14
最高使用温度60 °C
再生2 - 4 BV 盐酸 / 氢氧化钠
典型值,实际合同指标以批次 CoA/TDS 为准。
资料TDS / MSDS 见页首下载;CoA 样例、第三方验证报告可 索取

本页参数为典型测试条件下的代表性描述,不构成性能承诺;具体数值以对应牌号批次 CoA 与 TDS 为准。工况边界不明确的场合,建议先做 工况评估。