XR-UPW-501
Klasse B · Spezialserie
Proprietary Application Media
UPW-Ultra™ Endpolier-Mischbett
Endpolier-Mischbett in Waferqualität mit extrem niedriger Eluierung.
Endpolier-Mischbettmedium für Ultrareinstwassersysteme in Halbleiter- und Photovoltaikfertigung. Gleichkörnige Gel-Kationen-/Anionenaustauscherharze werden im optimierten Verhältnis gemischt; der Fokus liegt auf der Kontrolle der Harz-Eluierung und der Abspülzeit – für die Kontrolle von Spurenionen und TOC am Ausgang des UPW-Systems.
| Type | XR-UPW-501 UPW-Ultra™ Final Polishing Mixed Bed |
|---|---|
| Ionenform | H+/OH- gemischt (Polier-Mischbett) |
| Matrix | Styrol-Divinylbenzol (DVB) |
| Struktur | Gleichkörniges Gel |
| Geeignete Betriebsbedingungen | Endpolitur in Waferqualität / UPW-Feinreinigung · Spurenionenkontrolle am UPW-Ausgang · Neuinstallationen/Umbauten mit Empfindlichkeit gegenüber der Abspülzeit |
| Nicht empfohlen (zunächst bewerten) | Direkte Beschickung mit TOC-reichem Rohwasser (Vorbehandlung mit UV/UF) · Erstinbetriebnahme ohne Vorbehandlung nach UPW-Verfahren |
| Partikelgröße · Verpackung · Haltbarkeit | Maßgeblich sind Chargen-CoA und TDS; auf Anfrage erhältlich |
| Dokumente | TDS / MSDS stehen am Seitenanfang zum Download bereit; CoA-Muster und Verifizierungsberichte Dritter sind auf Anfrage erhältlich auf Anfrage |
Die Parameter auf dieser Seite sind repräsentative Beschreibungen unter typischen Testbedingungen und stellen keine Leistungszusage dar; die spezifischen Werte richten sich nach dem Chargen-CoA und TDS der jeweiligen Type. Bei unklaren Betriebsgrenzen empfehlen wir zunächst eine Betriebsbewertung。